光刻机这赛道,秦淼还真知道一些!
此时,听到徐教授的问话,他首先反问了起来:“我们的激光器,用的是什么技术?”
光刻机的光源就是最重要的一环,最早的接触式光刻机,用的是汞灯,光源很简单,但是光源很容易衍射,也就是无法光刻太细的电路,否则就会模糊,到了后来又用了准分子激光器产生的i线,提升了生产工艺。
但是,这些都不是最完美的,所以,随着工艺的提升,激光器也在不断变化,先后有了氟化氪,也就是KrF光源,再后来是氟化氩,也就是ArF。
后世东方在极紫外光刻机,也就是EUV光刻机上遭到制裁无法拿到货之后,采用多次重复曝光的套刻方式,成功地用ArF光源的光刻机,实现了5纳米的手机芯片的生产。
所以,己方的下一代光刻机,就不用走一步步过渡路线了,直接一步到位,要是在八十年代就搞出来哪怕100纳米的工艺,不得让西方绝望得跳楼?
“目前我们用的是氦氖激光器作为光源,这属于第一代气体激光器,我们清华大学光学系研究得比较透,接下来,计划使用氟化氪,在光刻机领域里,被很多人认为这工艺是最可能的下一个节点……”
“如果造氟化氩激光器的话,难度会大吗?”
“这……”徐教授还真没准备,他思考片刻:“你稍等,我去问问。”
说完,徐教授拿起了电话:“喂,光学系吗?我是精密仪器系的老徐,我找你们了解个情况……”
这就是大学搞研发的好处,不管想要搞什么,都会在本校找到相关研发人员!
放下电话,徐教授满脸兴奋:“这激光器没问题,光源是193纳米的,可以直接光刻0.2微米的芯片,如果多次套刻,几十纳米的芯片都能造出来……”
现在,国际上主流的芯片制程,还是5微米的,清华大学的光刻机能达到1.25微米,已经很逆天了,如果研发出来新款光刻机,直接过渡到0.2微米……这就是进入了纳米时代了啊!
倪工满脸兴奋,他已经预感到东方芯片工业要腾飞了!
芯片制程越高,同一块晶圆上能做出的芯片就越多,芯片的成本也就越低,同时,线路细了之后,发热量也小,意味着芯片的性能会更高。
所以,各国都在研究更加先进的芯片工艺,咱们东方在这个行业里,原本是落后的,现在,哈工大掺和进来,这领域,要达到世界第一了!
倪工对未来充满信心。
“不过,光源改变,光刻胶等等产品,都要跟着改变……”徐教授还有些担心。
“没问题,咱们哈工大找配套的供货商,如果没有人供货,那咱们自己研发!”
光刻机,只是芯片产业的一环,还有很多产业,都是能被卡脖子的,后世,南棒子的芯片产业一流,三星更是大公司,被岛国卡脖子,光刻胶断供,立马就着急了!
一种光源,配套一种光刻胶,这东西,其实技术难度不大,关键是全球产业链,几个垄断巨头出来,其他企业就没必要搞了,什么时候被断供,才会幡然醒悟,多花钱也要自己搞!
徐教授点头:“嗯,接下来就是更加精密的伺服系统,这个是我们精密仪器系的强项,还有一些特制的镜头,需要我们最熟练的工匠来打磨,秦淼同志,你放心,只要一样资金到位,我们不会掉链子的!”
秦淼点头:“我们保证充沛的研发资金,咱们共同合作,把东方的芯片产业,做到世界第一!”
“嗯。”徐教授点头,心中涌起一股股暖流,国内企业不支持,哈工大支持!以后谁再说哈工大的坏话,自己会和他拼命……
“对了,只有光刻机还不行,还得有刻蚀机,有单晶炉,这些,咱们国内一些单位都有,他们……”
他们也和清华大学一样,研制出来没人买!
“嗯,徐教授,你们给推荐一下,咱们过去买!”
必须得支持国内的芯片产业链,从上到下,一条龙,全部在国内搞定!这样才不会担心被外国卡脖子!
一旁,倪工有些担忧地开口:“三水啊,咱们这样的投资,会不会……”
“会不会赔本?倪工,你就放心好了,咱们哈工大,什么时候做过赔本的买卖!接下来,你帮忙联系一下相关单位,我还得去一趟部队那边。”
这次回首都,三个目的,一个是摇人,越多越好,倪工认识不少人,尤其是原本中科院计算所的,能忽悠的,全部忽悠过去,另一个目的,就是采购设备,厂房有了,洁净车间有了,只要采购回来设备,芯片工厂就能开工了啊!
至于另一个,就是五机部的赵领导有请,至于是什么事情,秦淼猜测,大致是奔驰公司那边有了回话,这边也要开始准备了吧?
倪工点头:“好,那我就去忙了!”
沈校长站了起来:“我和你一起去,我知道几个国内企业,技术一流,可惜……”
同病相怜的遭遇,让沈校长对于帮兄弟单位的产品介绍销路,也非常热衷。
五机部,办公室。
“秦淼同志,你终于来了,欢迎欢迎!”
秦淼睁大眼睛,没去看赵领导,而是看沙发上坐着的另一名中年人。
“爸,你怎么来了?”
张万和白了秦淼一眼:“怎么,我不能来?”
“不,不是,爸,我就是觉得,在这里见到您有些惊讶,本来我打算晚上回家,咱们爷俩好好聊聊的。”
“在这里聊也一样,来,坐下,咱们谈一谈在首都全新建造一座奔驰重卡厂项目的事情。”
什么?
秦淼记得很清楚,当时自己是给军队建议,等到引进奔驰,可以放在军工企业里生产,主要供应军队,毕竟奔驰重卡哪怕国产化,也不便宜,现在……居然也落到地方了?
赵领导笑了笑:“军队也没钱啊,要全新修建一个汽车厂,耗资巨大,五机部也筹措不出资金来,上面还支持改革,所以,咱们研究决定,还是交给地方政府去搞,也算是个创新了,有首都政府支持,有清山机械厂的主导……”
啥?自己老爹的厂子,也要掺和进来?