胡中玥之所以这么着急,是因为云枢科技在芯片方面取得了极大的进展。
几分钟前,ASm-洁玥沪上研发中心爆发出了极大的欢呼声,他们一直在努力的,光刻机与钌互联工艺的匹配,完成了!
这就意味着,第一条90nm钌互联中试生产线可以很快完成建设,进入实际运行阶段了!
所谓中试线,就是介于实验室研发和大规模量产之间的工程化验证平台,能测试设备在真实环境中的运行情况,能进行小批量的晶圆生产,以便随时调整优化参数。
这不仅是华国半导体制造领域的关键里程碑,也是全世界半导体领域的重大突破。
用金属钌代替传统的铜,作为芯片内部的导线材料,电阻更低,在高电流下更稳定,芯片的能效和寿命也相应提高了,制造成本随之下降。
最重要的是,钌互联的专利捏在我们手里,他们想用,得拿其他我们需要的专利来换!
这次,华国不会再被国外卡脖子,我们和他们站在同样的位置,看谁跑得快!
而上个月,供应商那边也传来好消息,国产的钌专用抛光液也搞出来了!
目前最迫切,最要努力的,是氯气提纯的问题。
氯气是钌刻蚀环节所需要的核心反应气体,如果氯气不纯,会导致钌互联线短路,良率下跌。
但氯气提纯很不容易,主要是依赖低温精馏,以及吸附剂,对存储器的要求很高,必须要用特制的钢瓶。
目前国产的5N级高纯度氯气的产量仅有三十吨,只能覆盖国内半导体企业20%的需求量,其余的80%完全依赖于进口。而且由于国内的存储罐技术与国外相比也有一定的距离,阀门密封不足,钢瓶内衬所需要的高纯度镍基合金产量和技术都很有限,这些都导致国产储罐纯度衰减速率要比进口的快50%……
所以,目前最迫在眉睫的问题就是让718所和化工院加快速度,早日实现高纯氯气自由,得让张总去那两个单位多走动走动。
“张叔,辛苦您多转悠转悠,他们要是有什么需要的,我们能帮的,您告诉我一声,洁玥集团义不容辞!”
“好!”
张总最近忙得不亦乐乎,且不说钌互联这块取得了极大的进展,单说ASm的那个二手设备翻新技术授权,就让公司赚得盆满钵满。
云枢科技、沪虹集团成立的新公司叫云虹科技,主要就是利用ASm的二手机翻新技术,把ASm的二手机回收回来,翻新之后,卖出去。
别小看二手光刻机,它能用,而且价格很便宜!
像是越猴、小胖、阿三、高棉、苏里斯顿、巴铁、千岛国这些经济环境比较差的国家,都很中意便宜又能用的二手光刻机,出口量咔咔上涨。
张总觉得现在才是自己最好的时候,是他一生中最高光的时刻。以后等他故去了,墓志铭上只用写一句话,“华国半导体行业钌互联技术研发及设备量产的推动者”,足矣!
……